分光エリプソメーター

設備情報更新日: 2026/03/10

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設備ID NR-702
メーカー ホリバ・ジョバンイボン
型式 UVISEL ER AGMS-NSD
仕様
・光源: キセノンランプ
・測定可能波長範囲: 0.6 eV〜6.0 eV(207 nm〜2067 nm)
・スポットの大きさ: 約 2 mm x 5 mm
・位相変調型エリプソメーター
担当者 宮家 和宏

利用料金

利用料金については、下記「分光エリプソメーターに関するお問い合わせ」よりお問い合わせください。

謝辞記載とその報告のお願い

本事業を利用された成果として発表される論文等には、以下の例を参考に謝辞の記載をお願いいたします。

  • 本研究(の一部)は、文部科学省「マテリアル先端リサーチインフラ」事業(課題番号 JPMXP12xxNRyyyy)の支援を受けて奈良先端科学技術大学院大学で実施された。
  • (A part of) This work conducted in Nara Instutute of Science and Technology was supported by "Advanced Research Infrastructure for Materials and Nanotechnology in Japan (ARIM)" of the Ministry of Education, Culture, Sports, Science and Technology (MEXT). Proposal Number JPMXP12xxNRyyyy.

また、謝辞を記載いただいた、DOIが付与されている論文をこちら(準備中)よりご報告いただきますようお願いいたします。

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