多機能走査型X線光電子分光分析装置 （XPS）
設備情報更新日: 2026/03/10
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| 設備ID | NR-401 |
|---|---|
| メーカー | アルバック・ファイ |
| 型式 | PHI 5000 Versa Probe Ⅱ |
| 仕様 |
・X線源：単色化Al Kα線（集束X線型、スポット径100μm-9μm）、Mg Kα線、Zr L線 ・エネルギー分析器：同心半球型（半径 139.7 mm） ・検出器：16 チャンネル ・絶縁物測定：帯電中和用電子銃、Ar+イオン銃 ・スパッタ深さ分析：Ar+イオン銃、GCIB（Arn+ Gas Cluster Ion Beam） ・5軸ステージ：X, Y, Z, Tilt, Rotation ・試料加熱冷却：-150℃-500℃ |
| 担当者 |
石原 綾子 淺野間 文夫 大野 智子 |
利用料金
利用料金については、下記「多機能走査型X線光電子分光分析装置に関するお問い合わせ」よりお問い合わせください。
謝辞記載とその報告のお願い
本事業を利用された成果として発表される論文等には、以下の例を参考に謝辞の記載をお願いいたします。
- 本研究（の一部）は、文部科学省「マテリアル先端リサーチインフラ」事業（課題番号 JPMXP12xxNRyyyy）の支援を受けて奈良先端科学技術大学院大学で実施された。
- (A part of) This work conducted in Nara Instutute of Science and Technology was supported by "Advanced Research Infrastructure for Materials and Nanotechnology in Japan (ARIM)" of the Ministry of Education, Culture, Sports, Science and Technology (MEXT). Proposal Number JPMXP12xxNRyyyy.
また、謝辞を記載いただいた、DOIが付与されている論文をこちら（準備中）よりご報告いただきますようお願いいたします。