超高分解能電界放出型電子顕微鏡 （FE-SEM）
設備情報更新日: 2026/03/10
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| 設備ID | NR-205 |
|---|---|
| メーカー | 日立ハイテク |
| 型式 | SU9000 |
| 仕様 |
・加速電圧: 500 V〜30 kVの範囲で選択可 ・冷陰極電界放出形電子銃搭載 ・インレンズ型対物レンズ搭載 ・分解能 ・0.4 nm（加速電圧 30 kV、SEM） ・0.8 nm （加速電圧 1 kV、SEM） ・0.34 nm（加速電圧 30 kV、BF-STEM） ・観察可能な試料サイズ ・平面SEM 最大 5.0 mm（縦）× 9.5 mm（横）× 3.5 mm（厚さ） ・断面SEM 最大 5.0 mm（縦）× 6.5 mm（横）× 2.0 mm（厚さ） ・検出器 ・二次電子・低角度反射電子検出器 ・高角度反射電子検出器 ・明視野透過電子（BF-STEM）検出器 ・環状暗視野透過電子（ADF-STEM）検出器 ・エネルギー分散X線分光（EDS）検出器 |
| 担当者 |
宮家 和宏 |
利用料金
利用料金については、下記「超高分解能電界放出型電子顕微鏡に関するお問い合わせ」よりお問い合わせください。
謝辞記載とその報告のお願い
本事業を利用された成果として発表される論文等には、以下の例を参考に謝辞の記載をお願いいたします。
- 本研究（の一部）は、文部科学省「マテリアル先端リサーチインフラ」事業（課題番号 JPMXP12xxNRyyyy）の支援を受けて奈良先端科学技術大学院大学で実施された。
- (A part of) This work conducted in Nara Instutute of Science and Technology was supported by "Advanced Research Infrastructure for Materials and Nanotechnology in Japan (ARIM)" of the Ministry of Education, Culture, Sports, Science and Technology (MEXT). Proposal Number JPMXP12xxNRyyyy.
また、謝辞を記載いただいた、DOIが付与されている論文をこちら（準備中）よりご報告いただきますようお願いいたします。