超高分解能電界放出型電子顕微鏡
超高分解能電界放出型電子顕微鏡 （FE-SEM）
設備情報更新日：2026/03/26
- CMP設備ID
- CMP-066
- メーカー
- 日立ハイテク
- 型式
- SU9000
- 仕様
-
[加速電圧] 500 V〜30 kVの範囲で選択可
冷陰極電界放出形電子銃搭載
インレンズ型対物レンズ搭載
[分解能]
・0.4 nm（加速電圧 30 kV、SEM）
・0.8 nm （加速電圧 1 kV、SEM）
・0.34 nm（加速電圧 30 kV、BF-STEM）
[観察可能な試料サイズ]
・平面SEM 最大 5.0 mm（縦）× 9.5 mm（横）× 3.5 mm（厚さ）
・断面SEM 最大 5.0 mm（縦）× 6.5 mm（横）× 2.0 mm（厚さ）
[検出器]
・二次電子・低角度反射電子検出器
・高角度反射電子検出器
・明視野透過電子（BF-STEM）検出器
・環状暗視野透過電子（ADF-STEM）検出器
・エネルギー分散X線分光（EDS）検出器 - 担当者
- 藤田 咲子
藤原 正裕
宮家 和宏
河合 由子
超高分解能電界放出型電子顕微鏡 利用料金
利用料金更新日: 2026/04/01
共用設備の利用料金は、利用料金に消費税（地方消費税を含みます）を加えた金額に、設備の管理や運営にかかる費用として、その金額の30%を上乗せした合計額となります。
設備利用料金
- 技術代行: 利用者からの依頼に基づき、本学の研究者等が、研究設備等を利用し代行して、加工、分析又は操作等を行うもの。
- 機器利用: 利用者が、研究設備等を利用して加工、分析又は操作等を行うもの。（本学の研究者等が必要に応じて技術的な指導等を行うことを含む。）
- 機器利用の利用料金の設定がない設備では、技術代行によるご利用のみとなります。
※ 表は横にスクロールできます（→）
| 利用形態 | 料金（税抜） | 試験単位等 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 技術代行 | 109,400円 | 1検体（4時間以内） | |
| 機器利用 | 22,000円 | 1時間 |
共通オプション料金
※ 表は横にスクロールできます（→）
| オプション料金名 | 料金（税抜） | 試験単位等 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 技術相談 | 無料 | ー | |
| 技術補助講習 | 10,000円 | 1講習 | （４時間以内） 利用者が機器利用をする場合は、あらかじめ機器操作に関する講習として技術補助講習を受講することを基本とする。 なお、技術補助講習時に利用者の試料を用いて講習を行い、その講習時に得られたデータを利用する場合は、技術代行に係る料金として別途１検体分の利用料金を徴収する。 |
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備考： （４時間以内） 利用者が機器利用をする場合は、あらかじめ機器操作に関する講習として技術補助講習を受講することを基本とする。 なお、技術補助講習時に利用者の試料を用いて講習を行い、その講習時に得られたデータを利用する場合は、技術代行に係る料金として別途１検体分の利用料金を徴収する。 |
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| 一般技術補助 | 10,000円 | 1時間 | |