多機能走査型X線光電子分光分析装置

多機能走査型X線光電子分光分析装置（XPS）

設備情報更新日：2026/03/23

CMP設備ID: CMP-062
メーカー: アルバック・ファイ
型式: PHI 5000 Versa Probe Ⅱ
仕様: ・X線源：単色化Al Kα線（集束X線型、スポット径100μm-9μm）、Mg Kα線、Zr L線
・エネルギー分析器：同心半球型（半径 139.7 mm）
・検出器：16 チャンネル
・絶縁物測定：帯電中和用電子銃、Ar+イオン銃
・スパッタ深さ分析：Ar+イオン銃、GCIB（Arn+ Gas Cluster Ion Beam）
・5軸ステージ：X, Y, Z, Tilt, Rotation
・試料加熱冷却：-150℃-500℃
概要: 試料にX線（通常はAl Kα線：1486.6eV）を照射し、生成した光電子の運動エネルギーとその個数を測定する装置です。運動エネルギーは束縛エネルギーに換算して表示します。非弾性散乱を起こさない光電子はほとんど試料表面で生成されるという特徴を利用して、数nm程度のごく表面の分析が可能です。構成元素の組成分析、化学状態分析、定量分析を行うことができます。化学状態分析ができるため別名ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)とも呼ばれます。
担当者: 石原綾子
淺野間文夫
大野智子

利用料金更新日: 2026/04/01

共用設備の利用料金は、利用料金に消費税（地方消費税を含みます）を加えた金額に、設備の管理や運営にかかる費用として、その金額の30%を上乗せした合計額となります。

※ 表は横にスクロールできます（→）

利用形態	料金（税抜）	試験単位等	備考
技術代行	98,600円	1検体（8時間以内）
機器利用	11,400円	1時間

※ 表は横にスクロールできます（→）

オプション料金名	料金（税抜）	試験単位等	備考
技術相談	無料	ー
技術補助講習	10,000円	1講習	（４時間以内）利用者が機器利用をする場合は、あらかじめ機器操作に関する講習として技術補助講習を受講することを基本とする。なお、技術補助講習時に利用者の試料を用いて講習を行い、その講習時に得られたデータを利用する場合は、技術代行に係る料金として別途１検体分の利用料金を徴収する。
備考：（４時間以内）利用者が機器利用をする場合は、あらかじめ機器操作に関する講習として技術補助講習を受講することを基本とする。なお、技術補助講習時に利用者の試料を用いて講習を行い、その講習時に得られたデータを利用する場合は、技術代行に係る料金として別途１検体分の利用料金を徴収する。
一般技術補助	10,000円	1時間

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