更新日: 2023/03/14
微細形状測定装置
| 装置ID | NR-703 | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| メーカー | 小坂製作所 | |||||||||||||||
| 型式 | ET200 | |||||||||||||||
| 仕様 | ・再現性 0.3nm以内 ・分解能 Z: 0.1nm X: 0.1μm |
|||||||||||||||
| 概要 | 二次元表面粗さ解析及び段差測定に最適で、高精度・高分解能・優れた安定性を実現、また、微少測定力で軟質試料面にも対応しています。 | |||||||||||||||
| 担当者 | 小池 徳貴 |
|||||||||||||||
| 利用料 |
利用料の詳細はこちらをご覧ください。 [ ]内は、研究データの収集・蓄積及び提供の一部又は全部を免除する場合の利用料です。 消費税は含まれていません。
|