更新日: 2023/03/14
分光エリプソメーター
| 装置ID | NR-702 | |||||||||||||||
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| メーカー | ホリバ・ジョバンイボン | |||||||||||||||
| 型式 | UVISEL ER AGMS-NSD | |||||||||||||||
| 仕様 | ・光源: キセノンランプ ・測定可能波長範囲: 0.6 eV〜6.0 eV（207 nm〜2067 nm） ・スポットの大きさ: 約 2 mm x 5 mm ・位相変調型エリプソメーター |
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| 概要 | 薄膜が堆積した試料に光を照射し、入射光に対する反射光の偏光の変化量を波長ごとに測定します。試料の光学モデルから得られる偏光の変化量の計算値と測定データをフィッティングすることで、薄膜の膜厚や複素屈折率（屈折率と消衰係数）を得ることができます。 | |||||||||||||||
| 担当者 | 宮家 和宏 |
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| 利用料 |
利用料の詳細はこちらをご覧ください。 [ ]内は、研究データの収集・蓄積及び提供の一部又は全部を免除する場合の利用料です。 消費税は含まれていません。
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