更新日: 2025/04/03
微小デバイス特性評価装置 （nanoEBAC）
| 設備ID | NR-601 | ||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| メーカー | 日立ハイテク | ||||||||||||||||||||
| 型式 | NE4000 | ||||||||||||||||||||
| 仕様 |
・ピエゾ素子を用いたプロービングシステム ・半導体デバイス・アナライザ（B1500A） |
||||||||||||||||||||
| 概要 | ピエゾ素子を用いたプロービングシステムを4つ搭載した、SEM式プロービングシステムです。アナライザを用いて各種電気特性が測定できます。また、EBAC解析も可能です。 | ||||||||||||||||||||
| 担当者 | 小池 徳貴 |
||||||||||||||||||||
| 利用料 |
利用料の詳細はこちらをご覧ください。 [ ]内は、研究データの収集・蓄積及び提供の一部又は全部を免除する場合の利用料です。 消費税は含まれていません。
|
||||||||||||||||||||