更新日: 2024/03/27
超高分解能電界放出型電子顕微鏡（FE-SEM）
この装置は、本事業におけるデータ登録の対象装置です。
| 装置ID | NR-205 | |||||||||||||||
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| メーカー | 日立ハイテク | |||||||||||||||
| 型式 | SU9000 | |||||||||||||||
| 仕様 | ・加速電圧: 500 V〜30 kVの範囲で選択可 ・冷陰極電界放出形電子銃搭載 ・インレンズ型対物レンズ搭載 ・分解能 ・0.4 nm（加速電圧 30 kV、SEM） ・0.8 nm （加速電圧 1 kV、SEM） ・0.34 nm（加速電圧 30 kV、BF-STEM） ・観察可能な試料サイズ ・平面SEM 最大 5.0 mm（縦）× 9.5 mm（横）× 3.5 mm（厚さ） ・断面SEM 最大 5.0 mm（縦）× 6.5 mm（横）× 2.0 mm（厚さ） ・検出器 ・二次電子・低角度反射電子検出器 ・高角度反射電子検出器 ・明視野透過電子（BF-STEM）検出器 ・環状暗視野透過電子（ADF-STEM）検出器 ・エネルギー分散X線分光（EDS）検出器 |
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| 概要 | 細く絞られた電子ビームを試料上で走査し、試料表面から放出される二次電子や反射電子を検出することで、試料の表面形状を観察する装置です。本装置は高分解能観察に特化しており、観察可能な試料サイズに大きな制限があります。二次電子検出器や反射電子検出器に加えて、明視野透過電子（BF-STEM）検出器や環状暗視野透過電子（ADF-STEM）検出器も備わっており、試料が非常に薄ければ（目安として、およそ100 nm未満の厚さ）、透過電子顕微鏡像も得ることができます。さらに、エネルギー分散X線分光（EDS）検出器を用いて、電子ビームによって試料から放出される特性X線を検出することで、試料表面の元素分析や組成分析が可能です。 | |||||||||||||||
| 担当者 | 宮家 和宏 |
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| 利用料 |
利用料の詳細はこちらをご覧ください。 [ ]内は、研究データの収集・蓄積及び提供の一部又は全部を免除する場合の利用料です。 消費税は含まれていません。
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