更新日: 2024/03/27
多機能分析走査電子顕微鏡（SEM）
この装置は、本事業におけるデータ登録の対象装置です。
| 装置ID | NR-201 | |||||||||||||||
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| メーカー | 日本電子 | |||||||||||||||
| 型式 | JSM-IT800 | |||||||||||||||
| 仕様 | ・加速電圧: 100 V 〜 30 kV（減速機能あり） ・分解能: 0.5 nm（2次電子像、加速電圧15 kV） ・分解能: 0.7 nm（2次電子像、加速電圧1 kV） ・EDS検出器搭載 ・EBSD検出器搭載 ・CL検出器搭載 ・低真空機能搭載 |
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| 概要 | 細く絞った電子線を用いて様々な観察・分析を行うことができる走査電子顕微鏡です。 加速電圧を減速させる機能（試料ダメージ軽減）、低真空機能（チャージアップ軽減）を使った観察が可能です。 また、EDS検出器は大口径検出素子でかつシリコンナイトライド (Si3N4) 製ウィンドウのものを搭載しており、軽元素でも高感度検出を可能としています。さらにEBSD検出器は 最大4,500点/秒の観察ができるものを搭載しており、高速分析はもちろん、効率的なEDS-EBSD同時分析も行うことが可能です。CL検出器は角度分解機能があり、複数の観察角度と波長に対して高度な分解能で測定が可能です。 |
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| 担当者 | 小池 徳貴 |
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| 利用料 |
利用料の詳細はこちらをご覧ください。 [ ]内は、研究データの収集・蓄積及び提供の一部又は全部を免除する場合の利用料です。 消費税は含まれていません。
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